Quelques particules ou molécules de gaz non collectées peuvent avoir des conséquences extrêmement graves dans certains processus. Imaginez les dommages que l'air contaminé pourrait causer à la fabrication de semi-conducteurs, de disques durs et à d'autres processus hautement sensibles.
Dans la fabrication de semi-conducteurs, les méthodes de production avancées exigent un approvisionnement en air très pur avec des exigences de propreté en constante augmentation. La taille critique des particules pour l'environnement des plaquettes est désormais inférieure à 25 nm (2009) et il est prévu que cette taille continuera à diminuer jusqu'à 10 nm d'ici 2017. La contamination moléculaire aéroportée (AMC) est désormais un problème majeur pour toutes les usines microélectroniques avancées. Un large éventail d’effets AMC ont été observés ayant un impact sur le rendement de production. Par exemple, il a été démontré que la corrosion acide des disques durs ou des plaquettes, les dépôts organiques condensables sur des surfaces sensibles ou l’exposition à de faibles niveaux d’ammoniac affectent diverses étapes du processus.
Les filtres sont le cœur de la salle blanche, mais il existe un certain nombre de considérations concernant la classification de la salle, le choix du filtre et la manière dont les filtres influencent l'environnement.
SAF est bien placé pour recommander la meilleure solution pour le contrôle avancé des particules et de l'AMC grâce à plus de 16 ans d'expérience dans le domaine de la microélectronique et du contrôle de la contamination des semi-conducteurs, et grâce à notre implication dans la feuille de route technologique internationale pour les semi-conducteurs.
Les filtres HEPA, ULPA et moléculaires sont produits dans des environnements contrôlés dans les usines certifiées ISO 9000 de SAF. Nous pouvons produire le même type de filtres sur plusieurs sites de fabrication. Notre grande capacité de production assure la disponibilité de nos produits à tout moment dans le monde entier.
Protéger :
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Plaquettes et semi-conducteurs
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Équipements de procédés microélectroniques
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Disques durs
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Cartes de circuits imprimés
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Écrans plats
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Panneaux solaires